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因为超声波测距仪是把光的传播作为手段来测定距离的，所以必须有光源。为了满足测量所要求的高精度，光源不是单纯发光就可以了，作为光波测距仪的光源要求具备下列性质:
1))亮度大;
2)由于光源面的位置不同而引起的亮度变化小；
3)亮度变化小；
4)体积小重量轻，且消耗功率小。
光源一般常用钨丝灯，水银灯。近来已开始用半导体发光二极管、激光等。

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